Veeco

Bu servis eğitiminde Yüzey Profilometre grubundaki Dektak modeli için uygulamalı servis eğitimi verilerek montaj ve montaj sonrası validasyon, genel bakım ve arıza onarımı üzerinde duruldu.

Dektak Yüzey Profilometre Cihazı

:Elmas bir uç ile yüzeye çok küçük kuvvet uygulanırken yüzey üzerinde tarama yapılarak topoğrafik verilerin hızlı bir şekilde alındığı sistemlerdir. Uygulama alanlarını, metal yüzeyler, film kalınlığı ve stress, photoresist ve transparan film kalınlıkları, MEMs uygulamaları, yarı iletken sistemler (solar cell, leds), mikrolens, işlenmiş yüzeylerde pürüzsüzlük, yüzey kalitesi ve hata gözlenmesi, SIMS kraterleri ve güneş panelleri kalite kontrolü oluşturur.

Dektak TeknolojisiStylus Sensor:

Yüzeye sürekli temas halinde bulunan bir elmas uçla tarama yapılır. Elmas ucun düşeydeki hareketleri LVDT (Lineer Yer Değiştirme Transduseri) sensörleri sayesinde çok düşük kuvvetler uygulanarak dikey hareketler algılanır.  

Numune: X – Y – Theta  pozisyonlaması ile numune tablasına yerleştirilir.

Motorized Tarama Tablası: Tarama esnasında numuneyi stylus altında hareket ettirir.

Kullanım Alanları:

• İnce film ölçümleri
• 50Å altında basamak yükseklikleri
• 6Å basamak yüksekliği tekrarlanabilirliği
• İnce transparan filmler veya optik  karakteristikler
• Büyük dikey ölçüm aralığı
• 1mm’ye kadar dikey ölçüm aralığı (MEMS uygulamaları için önemli)
• Yüksek oran ölçümleri
• 60°’ye kadar slope ölçümleri
• Uzun tarama ölçümleri
• 200 mm’ye kadar tarama kapasitesi
• Stress ölçüm kapasitesi